中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司成立于2001年4月18日。2014年7月16日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司挂牌。

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的高科技企业。公司以高真空、超高真空、洁净真空技术为基础，主要研发生产各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、单晶炉、太阳能光伏设备、集成电路装备、大科学工程装备、无油真空获得及系统集成。